対向ターゲット式スパッタ法で成膜したCoFeB-SiO2 を磁性コアとした平面スパイラルインダクタの作製プロセスの改善

Publication Information

Title

Japanese:	対向ターゲット式スパッタ法で成膜したCoFeB-SiO2 を磁性コアとした平面スパイラルインダクタの作製プロセスの改善
English:	Improvement of fabrication process of planar type spiral inductors using a CoFeB-SiO2 magnetic core formed by facing targets sputtering

Author

Japanese:	仁田帆南, 山中希未斗, 宮﨑達也, 石戸亮祐, 藤﨑敬介, 中川茂樹, 髙村陽太.
English:	H. Nitta, K. Yamanaka, T. Miyazaki, R. Ishido, K. Fujisaki, S. Nakagawa, Y. Takamura.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電気学会研究会資料
English:	The Papers of Technical Meeting on "Magnetics", IEE Japan

Volume, Number, Page

pp. 25-30

Published date

Nov. 7, 2023

Publisher

Japanese:	一般社団法人電気学会
English:	The Institute of Electrical Engineers of Japan (IEEJ)

Conference name

Japanese:	マグネティックス研究会テーマ「高周波磁性材料（磁性粉末複合材料）・センサ」
English:	Technical Meeting on "Magnetics"

Conference site

Japanese:	東京都
English:	Tokyo

Official URL