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Publication Information
Title
Japanese:
トモグラフィック発光分光計測とアルゴン衝突輻射モデルによるプラズマ診断において視線配置が診断結果に及ぼす影響
English:
Author
Japanese:
山下雄也
,
土居謙太
, 清田哲司,
菊地航行
,
石健太
,
渡邊修平
,
根津篤
,
赤塚洋
.
English:
Yuya Yamashita
,
Kenta Doi
, Tetsuji Kiyota,
Wataru Kikuchi
,
Kenta Ishi
,
Shuhei Watanabe
,
Atsushi Nezu
,
Hiroshi Akatsuka
.
Language
Japanese
Journal/Book name
Japanese:
原子分子データ応用フォーラム要旨集
English:
Volume, Number, Page
Published date
Dec. 20, 2023
Publisher
Japanese:
原子分子データ応用フォーラム
English:
Conference name
Japanese:
2023年合同素過程研究会 「プラズマの分光診断と原子分子素過程の研究フロンティア」 「原子分子データ応用フォーラムセミナー」
English:
Conference site
Japanese:
土岐
English:
Toki
Official URL
http://www.am-data-forum.com/workshopR5/abstract_yamashita.pdf
Abstract
近年,トモグラフィック発光分光計測と衝突輻射モデルを用いた,マクロパラメータの3次元空間分布が報告され始めている.トモグラフィにおいて像再構成に起因する不確かさを低減するためは,多数の視線を用いて取得することが必要である.一方,減圧プロセスプラズマでは,空間的に均一なプラズマを実現するために観測窓削減が求められる.このため,許容する診断結果の不確かさに応じた視線配置を検討する必要がある.本研究では,エッチング用誘導結合プラズマ装置を用いてアルゴンプラズマを生成し,視線配置が再構成像としての分光放出係数,さらに診断結果としての電子温度・電子密度に及ぼす影響を実験的に検討した.電磁界分布が強い領域において,視線交差点を集中させた場合,電子温度の急峻な空間分布変化を観測できた.
©2007
Tokyo Institute of Technology All rights reserved.