プロセスばらつきを考慮した交互最小化を用いたソースマスク最適化

Publication Information

Title

Japanese:	プロセスばらつきを考慮した交互最小化を用いたソースマスク最適化
English:

Author

Japanese:	倉持匡希, 小平行秀, 高橋篤司, 児玉親亮.
English:	Masaki Kuramochi, Yukihide Kohira, Atsushi Takahashi, Chikaaki Kodama.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	電子情報通信学会技術研究報告 (VLD2024-83)
English:	IEICE Technical Report (VLD2024-83)

Volume, Number, Page

Vol. 124 No. 329 pp. 41-46

Published date

Jan. 2025

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	VLSI設計技術研究会
English:	Technical Committee on VLSI Design Technologies

Conference site

Japanese:
English: