コンビナトリアルスパッタリング法による多元系窒化物エピタキシャル薄膜の一括合成

Publication Information

Title

Japanese:	コンビナトリアルスパッタリング法による多元系窒化物エピタキシャル薄膜の一括合成
English:	High-Throughput Synthesis of Multinary Nitride Epitaxial Thin Films Using Combinatorial Sputtering System

Author

Japanese:	相馬拓斗, 吉松公平, 大友明.
English:	Takuto Soma, Kohei Yoshimatsu, Akira Ohtomo.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 2025

Publisher

Japanese:
English:

Conference name

Japanese:	日本セラミックス協会2025年年会
English:	The Ceramic Society of Japan Annual Meeting 2025

Conference site

Japanese:	静岡県浜松市
English:	Hamamatsu, Shizuoka

Official URL