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Publication Information


Title
Japanese:Si基板上SiO2窓構造への異種材料小片接合プロセスに向けたエッチングプロセスの検討 
English: 
Author
Japanese: 糟谷 直孝, 田中 肇, 小松 憲人, 三澤 太一, 井上 尚子, 菊地 健彦, 御手洗 拓矢, 木村 峻, 藤原 直樹, 西山 伸彦, 八木 英樹.  
English: Naotaka Kasuya, Hajime Tanaka, Kento Komatsu, Taichi Misawa, Naoko Inoue, Takehiko Kikuchi, Takuya Mitarai, Shun Kimura, Naoki Fujiwara, Nobuhiko Nishiyama, Hideki Yagi.  
Language Japanese 
Journal/Book name
Japanese: 
English: 
Volume, Number, Page        
Published date Sept. 8, 2025 
Publisher
Japanese: 
English: 
Conference name
Japanese:2025年電子情報通信学会ソサイエティ大会 
English: 
Conference site
Japanese:岡山 
English: 

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