長期振動試験によるAu錘1軸MEMS加速度センサの耐久性評価

Publication Information

Title

Japanese:	長期振動試験によるAu錘1軸MEMS加速度センサの耐久性評価
English:

Author

Japanese:	山田虎人, 向出千隼, 栗岡智行, 町田克之, Chen Chun-Yi, Chang Tso-Fu Mark, 曽根正人, 三宅美博, 伊藤浩之.
English:	Torauto Yamada, Chihaya Mukaide, Tomoyuki Kurioka, Katsuyuki Machida, Chun Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Masato Sone, Yoshihiro Miyake, Hiroyuki Ito.

Language

Japanese

Journal/Book name

Japanese:	第73回応用物理学会春季学術講演会
English:

Volume, Number, Page

Published date

Mar. 17, 2026

Publisher

Japanese:
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Conference name

Japanese:	第73回応用物理学会春季学術講演会
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