Home >

news ヘルプ

論文・著書情報


タイトル
和文:新型円筒マグネトロンスパッタ装置による被膜の構造 
英文: 
著者
和文: 金子忠夫, 入戸野修.  
英文: 金子忠夫, 入戸野修.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:真空 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 36    No. 12    pp. 918-923
出版年月 1993年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.