Magnetic and Electrical Properties of α-FeNx  Particles Dispecsed in AlN thin Films Foebricated by a Two-Facing-Targer DC Reacrive Method

論文・著書情報

タイトル

和文:	対向陰極型直流反応スパッタ法で作製したα-FeNx 微細粒子を分散したAIN薄膜の磁気および電気特性
英文:	Magnetic and Electrical Properties of α-FeNx Particles Dispecsed in AlN thin Films Foebricated by a Two-Facing-Targer DC Reacrive Method

著者

和文:	Teng Lai Li, O.Nittono.
英文:	Teng Lai Li, O.Nittono.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	真空
英文:	Journal of the Vacuum Sociery of Japan

巻, 号, ページ

Vol. 39 No. 4 pp. 159-164

出版年月

1996年

出版者

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会議名称

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開催地

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