Correlation between resistivity and columnar structure in titanium films prepared by two-facing-target DC sputtering.

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Correlation between resistivity and columnar structure in titanium films prepared by two-facing-target DC sputtering.

著者

和文:	T.Miyoshi, Y.Haga, O.Nittono.
英文:	T.Miyoshi, Y.Haga, O.Nittono.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the 3rd PRICM

巻, 号, ページ

pp. 2551-2556

出版年月

1998年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

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英文: