Atomic Layer-by-Layer MOCVD of Complex Metal Oxides and In Situ Process Monitoring

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atomic Layer-by-Layer MOCVD of Complex Metal Oxides and In Situ Process Monitoring

著者

和文:	Shuu'ichirou Yamamoto, Shunri Oda.
英文:	Shuu'ichirou Yamamoto, Shunri Oda.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Chemical Vapor Deposition

巻, 号, ページ

Vol. 7 No. 1 pp. 7-18

出版年月

2001年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
英文: