The Pumping Performances of the Turbo Molecular Pump Simulated By Direct Simulation Monte Carlo Method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	The Pumping Performances of the Turbo Molecular Pump Simulated By Direct Simulation Monte Carlo Method

著者

和文:	S. Wang, H. Ninokata.
英文:	S. Wang, H. Ninokata.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	1st COE-INES International Symposium INES-1, Tokyo, Japan

巻, 号, ページ

pp. Paper No. 111

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: