Effects of post dielectric deposition and post metallization annealing processes on metal/Dy2O3/Si(100) diode characteristics

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effects of post dielectric deposition and post metallization annealing processes on metal/Dy2O3/Si(100) diode characteristics

著者

和文:	Shun-ichiro Ohmi, Hiroyuki Yamamoto, Junichi Taguchi, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai.
英文:	Shun-ichiro Ohmi, Hiroyuki Yamamoto, Junichi Taguchi, Kazuo Tsutsui, Hiroshi Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 43 No. 4B pp. 1873-1878

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
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