Estimation of Ultra-Shallow Plasma Doping(PD) Layerﾕs Optical Absorption Properties by Spectroscopic Ellipsometry (SE)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Estimation of Ultra-Shallow Plasma Doping(PD) Layerﾕs Optical Absorption Properties by Spectroscopic Ellipsometry (SE)

著者

和文:	C.G.Jin, Y. Sasaki, K. Tsutsui, S. Ohmi, B. Mizuno, H. Iwai.
英文:	C.G.Jin, Y. Sasaki, K. Tsutsui, S. Ohmi, B. Mizuno, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abs. of IWJT2004 (International Workshop on Junction Technology)

巻, 号, ページ

pp. 102-103

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
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開催地

和文:
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