Contribution and control of neutral gas absorption effects in the plasma doping of boron into Si

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Contribution and control of neutral gas absorption effects in the plasma doping of boron into Si

著者

和文:	K. Tsutsui, R. Higaki, Y. Sasaki, T. Sato, H. Tamura, B. Mizuno, H. Iwai.
英文:	K. Tsutsui, R. Higaki, Y. Sasaki, T. Sato, H. Tamura, B. Mizuno, H. Iwai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Ext. Abs. of IWJT2004(International Workshop on Junction Technology)

巻, 号, ページ

pp. 46-49

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
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