B<sub>2</sub>H<sub>6</sub> Plasma Doping with In-situ He Pre-amorphization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	B₂H₆ Plasma Doping with In-situ He Pre-amorphization

著者

和文:	Y. Sasaki, C. G. Jin, H. Tamura, B. Mizuno, R. Higaki, T. Satoh, K. Majima, H. Sauddin, K. Takagi, S. Ohmi, K. Tsutsui, H. Iwai .
英文:	Y. Sasaki, C. G. Jin, H. Tamura, B. Mizuno, R. Higaki, T. Satoh, K. Majima, H. Sauddin, K. Takagi, S. Ohmi, K. Tsutsui, H. Iwai .

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Tech. Dig. of Symp. on VLSI Technology

巻, 号, ページ

出版年月

2004年

出版者

和文:
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会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: