プラズマドーピングにおけるHeプラズマ前処理の不純物プロファイルへの効果 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	プラズマドーピングにおけるHeプラズマ前処理の不純物プロファイルへの効果
英文:

著者

和文:	高木克洋, 佐藤貴久, 田村秀貴, 岡下勝己, 筒井一生, 佐々木雄一朗, 水野文二, 岩井洋.
英文:	高木克洋, 佐藤貴久, 田村秀貴, 岡下勝己, 筒井一生, 佐々木雄一朗, 水野文二, 岩井洋.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第65回応用物理学会学術連合講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 741

出版年月

2004年

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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