A New Driving Method for Electrostatic MEMS Actuators to Prevent Sticking

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A New Driving Method for Electrostatic MEMS Actuators to Prevent Sticking

著者

和文:	T. Fukushige, S. Hata, A. Shimokohbe.
英文:	T. Fukushige, S. Hata, A. Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen Glasgow 2004)

巻, 号, ページ

pp. 15-16

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

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開催地

和文:
英文: