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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials 
著者
和文: Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe.  
英文: Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005 
巻, 号, ページ         pp. 479-482
出版年月 2005年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
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開催地
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英文: 

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