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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:A MEMS Conical Spring Actuator Array 
著者
和文: T. Fukushige, S. Hata, A. Shimokohbe.  
英文: T. Fukushige, S. Hata, A. Shimokohbe.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:IEEE/ASME Journal of Microelectromechanical Systems 
巻, 号, ページ Vol. 14    No. 1    pp. 31-42
出版年月 2005年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 
DOI https://doi.org/10.1109/JMEMS.2004.839345

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