Fabrication of SOI Films wit High Crystal Uniformity by High-Speed Zone-Melting Crystallization

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of SOI Films wit High Crystal Uniformity by High-Speed Zone-Melting Crystallization

著者

和文:	Shuhei Yokoyama, 伊原学, Koichi Izumi, Hiroshi Komiyama, Chiaki Yokoyama.
英文:	Shuhei Yokoyama, Manabu Ihara, Koichi Izumi, Hiroshi Komiyama, Chiaki Yokoyama.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Electrochemical Society

巻, 号, ページ

Vol. 150 No. 5 pp. A594-A600

出版年月

2003年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: