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論文・著書情報


タイトル
和文:Heプラズマ照射によるプレアモルファス層形成過程の検討 
英文: 
著者
和文: 深川洋太郎, 相庭一穂, 田村秀貴, 岡下勝己, 佐々木雄一朗, 水野文二, 筒井一生, 岩井洋.  
英文: 深川洋太郎, 相庭一穂, 田村秀貴, 岡下勝己, 佐々木雄一朗, 水野文二, 筒井一生, 岩井洋.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第52回応用物理学関係連合講演会　講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ     No. 2    pp. 963
出版年月 2005年 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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