Characterization of amorphous carbon films deposited by surface wave plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of amorphous carbon films deposited by surface wave plasma CVD

著者

和文:	H. Akasaka, M. Furukawa, N.Ohtake.
英文:	H. Akasaka, M. Furukawa, N.Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 10th International Conference on New Diamond Science and Technology 2005

巻, 号, ページ

pp. 158

出版年月

2005年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
英文: