Crystallization of SiSn and SiSnC layers in Si by solid phase epitaxy and ion-beam-induced epitaxy

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Crystallization of SiSn and SiSnC layers in Si by solid phase epitaxy and ion-beam-induced epitaxy

著者

和文:	N.Kobayashi, D. Zhu, H. Katsumata, H. Kakemoto, M. Hasegawa, N. Hayashi, H. Shibata, Y. Makita, Shin-ichiro Uekusa, T. Tsukamoto.
英文:	N.Kobayashi, D. Zhu, H. Katsumata, H. Kakemoto, M. Hasegawa, N. Hayashi, H. Shibata, Y. Makita, Shin-ichiro Uekusa, T. Tsukamoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Nucl. Instrum. Methods B

巻, 号, ページ

Vol. 121 pp. 199

出版年月

1997年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: