An Active Aerostatic Spindle with an Axial Positioning Actuator for Machining Ultra-Micro Scale Structures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	An Active Aerostatic Spindle with an Axial Positioning Actuator for Machining Ultra-Micro Scale Structures

著者

和文:	Tadahiko Shinshi, Yusuke Imai, Hitoshi Hashizume, Kaiji Sato, Akira Shimokohbe.
英文:	Tadahiko Shinshi, Yusuke Imai, Hitoshi Hashizume, Kaiji Sato, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proceedings of the LEM21

巻, 号, ページ

pp. 1015-1018

出版年月

2005年10月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	LEM21

開催地

和文:
英文:	Nagoya, Japan