A Microactuator Driven by Pressure due to ECF-jet

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Microactuator Driven by Pressure due to ECF-jet

著者

和文:	R.Abe, S.Yokota.K.Edamura.
英文:	R.Abe, S.Yokota.K.Edamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of the First Joint International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology(ICMDT.Intl.)

巻, 号, ページ

pp. CD-Rom MAA-401

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Proc. of the First Joint International Conference on Manufacturing, Machine Design and Tribology(ICMDT.Intl.)

開催地

和文:
英文:	Seoul Korea