Current Control for Efficient Z-pinch EUV Light Source

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Current Control for Efficient Z-pinch EUV Light Source

著者

和文:	K.Horioka, E.Hotta, A.Okino, T.Kawamura, M.Nakajima, M.Watanabe, M.Masnavi, S.R.Mohanty, S.Inho, A.Kikuchi, K.Takahashi.
英文:	K.Horioka, E.Hotta, A.Okino, T.Kawamura, M.Nakajima, M.Watanabe, M.Masnavi, S.R.Mohanty, S.Inho, A.Kikuchi, K.Takahashi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 2-SO-27

出版年月

2005年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	4th International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography

開催地

和文:
英文: