多重火炎 VAD法による SiHCl<sub>3</sub>原料を使用した全合成母材の高速製造 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	多重火炎 VAD法による SiHCl₃原料を使用した全合成母材の高速製造
英文:

著者

和文:	須田裕之, 柴田修一, 堀口正治.
英文:	須田裕之, 柴田修一, 堀口正治.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電子通信学会
英文:

巻, 号, ページ

No379

出版年月

1985年

出版者

和文:
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会議名称

和文:	昭和60年度電子通信学会半導体・材料部門全国大会
英文:

開催地

和文:
英文:

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