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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Properties of Hydrogenated Microcrystalline Cubic Silicon Carbide Films Deposited by Hot Wire Chemical Vapor Deposition at a Low Substrate Temperature 
著者
和文: 宮島晋介, 山田明, 小長井誠.  
英文: Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Japanese Journal of Applied Physics 
巻, 号, ページ Vol. 43    No. 9A/B    pp. L1190
出版年月 2004年9月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 
DOI https://doi.org/10.1143/JJAP.43.L1190

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