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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Low Temperature (320℃) Deposition of Hydrogenated Microcrystalline Cubic Silicon Carbide Thin Films 
著者
和文: 宮島 晋介, 山田 明, 小長井 誠.  
英文: Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Materials Science Forum 
巻, 号, ページ Vol. 457-460        pp. 317
出版年月 2004年12月 
出版者
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会議名称
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開催地
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