Low temperature epitaxial growth of Si and Si1－yCy films by hot wire cell method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Low temperature epitaxial growth of Si and Si1－yCy films by hot wire cell method

著者

和文:	Tatsuro Watahiki, Katsuya Abe, Hajime Tamura, 宮島晋介, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Tatsuro Watahiki, Katsuya Abe, Hajime Tamura, Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Thin Solid Films

巻, 号, ページ

Vol. 395 pp. 221

出版年月

2001年

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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