Annealing characteristics of Al-doped hydrogenated microcrystalline cubic silicon carbide films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Annealing characteristics of Al-doped hydrogenated microcrystalline cubic silicon carbide films

著者

和文:	宮島晋介, Akira Yamada, Makoto Konagai.
英文:	Shinsuke Miyajima, Akira Yamada, Makoto Konagai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	MRS SYMPOSIUM PROCEEDINGS

巻, 号, ページ

Vol. 862 pp. 287-292

出版年月

2005年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MRS spring meeting

開催地

和文:
英文:	San Francisco, CA USA

DOI