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論文・著書情報


タイトル
和文:水素化処理によるPECVD TEOS-SiO2ゲート酸化膜及びMIS界面特性の改善 
英文: 
著者
和文: 林 哲鋧, 清水耕作, 半那純一.  
英文: 林 哲鋧, 清水耕作, 半那純一.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:第66回応用学会学術講演会講演予稿集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 716-716
出版年月 2005年 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第66回応用学会学術講演会 
英文: 
開催地
和文: 
英文: 

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