Numerical Study on the Gas Temperature of Microwave Discharge Plasma as a Rarefied Gas Dynamic System

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Numerical Study on the Gas Temperature of Microwave Discharge Plasma as a Rarefied Gas Dynamic System

著者

和文:	T. Ichiki, T. Sakamoto, H. Matsuura, H. Akatsuka.
英文:	T. Ichiki, T. Sakamoto, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing

巻, 号, ページ

pp. 251-252

出版年月

2006年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	6th International Conference on Reactive Plasmas and 23rd Symposium on Plasma Processing (ICRP6/SPP23)

開催地

和文:
英文:	Matsushima, Miyagi, Japan