カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成Ⅱ | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	カソーディックアークプラズマ蒸着を用いたコンビナトリアルマテリアル合成Ⅱ
英文:

著者

和文:	山内隆介, 秦　誠一, 桜井淳平, 下河邉　明.
英文:	山内隆介, 秦　誠一, 桜井淳平, 下河邉　明.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	2005年秋季第66回応用物理学会学術講演会予稿集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 9a-D-3

出版年月

2005年9月

出版者

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会議名称

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開催地

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英文:

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