Built-in Capacitive Displacement Sensor with Long Full-Scale Range for Electrostatic Microactuators

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Built-in Capacitive Displacement Sensor with Long Full-Scale Range for Electrostatic Microactuators

著者

和文:	Takashi Fukushige, Takehiko Hayashi, Seiichi Hata, 下河邉明.
英文:	Takashi Fukushige, Takehiko Hayashi, Seiichi Hata, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines

巻, 号, ページ

Vol. 126 No. 9 pp. 522-527

出版年月

2006年9月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI