Out-of-plane Motion Microactuator Made of Thin Film Metallic Glass

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Out-of-plane Motion Microactuator Made of Thin Film Metallic Glass

著者

和文:	Seiichi Hata, Takashi Fukushige, Hiroyuki Tachikawa, Akira Shimokohbe.
英文:	Seiichi Hata, Takashi Fukushige, Hiroyuki Tachikawa, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. of 18th International Congress of Mechanical Engineering

巻, 号, ページ

pp. Accepted

出版年月

2005年11月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Ouro Preto, Brazil