Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Thin Film Metallic Glasses as New MEMS Materials

著者

和文:	Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe.
英文:	Seiichi Hata, Junpei Sakurai, Akira Shimokohbe.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Technical Digest of The 18th IEEE International Conference on MEMS 2005

巻, 号, ページ

pp. 479-482

出版年月

2005年1月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:	Miami, USA

DOI