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論文・著書情報


タイトル
和文:薄膜ゾーンメルティング法によるβFeSi2膜の成長 
英文:Fabrication of β-FeSi2 films using thin film zone melting crystallization 
著者
和文: 田中, 伊原.  
英文: 田中, Manabu Ihara.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:応用物理学会 第９回シリサイド系半導体研究会 講演要旨集 
英文: 
巻, 号, ページ         pp. 21
出版年月 2006年3月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:応用物理学会 第９回シリサイド系半導体研究会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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