Opto-thermal wet etching technique assisted by laser for MEMS device

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Opto-thermal wet etching technique assisted by laser for MEMS device

著者

和文:	Kobayashi, Y., Fushinobu, K., Okazaki, K..
英文:	Kobayashi, Y., Fushinobu, K., Okazaki, K..

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc 1st Int Symp Mcro Nano Tech

巻, 号, ページ

Vol. 2-2-03

出版年月

2004年

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	1st Int Symp Mcro Nano Tech

開催地

和文:
英文: