Characterization of atmospheric pressure radio-frequency discharge and application to carbon nanotubes deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Characterization of atmospheric pressure radio-frequency discharge and application to carbon nanotubes deposition

著者

和文:	T Nozaki, T Goto, K Okazaki.
英文:	T Nozaki, T Goto, K Okazaki.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	The 15th symposium of the materials research society of Japan (MRS-J)

巻, 号, ページ

pp. 147 (H2-P01)

出版年月

2004年12月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 15th symposium of the materials research society of Japan (MRS-J)

開催地

和文:
英文:	日本大学