スプール型サーボ弁と層流型高速流量計を用いた空気圧式アクティブ除振台の制御 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	スプール型サーボ弁と層流型高速流量計を用いた空気圧式アクティブ除振台の制御
英文:

著者

和文:	加藤友規, 川嶋健嗣, 澤本晃一, 舩木達也, 香川利春.
英文:	加藤友規, 川嶋健嗣, 澤本晃一, 舩木達也, 香川利春.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 72 No. 6 pp. 772-777

出版年月

2006年6月

出版者

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会議名称

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開催地

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