Fabrication of Flexible Electro-Rheological (ER) Microvalve Based on Flexible SU-8 Cantilever Structures

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Fabrication of Flexible Electro-Rheological (ER) Microvalve Based on Flexible SU-8 Cantilever Structures

著者

和文:	吉田和弘, 金俊完, Kumiko Kohda, 横田眞一.
英文:	Kazuhiro Yoshida, Joon-wan Kim, Kumiko Kohda, Shinichi Yokota.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. 10th Int. Conf.on New Actuators (ACTUATOR 2006)

巻, 号, ページ

pp. 852-855

出版年月

2006年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	10th Int. Conf. on New Actuators (ACTUATOR 2006)

開催地

和文:
英文:	Bremen (Germany)