Gas Temperature and Surface Heating in a SiH4/H2 Plasma under a High-Rate μc-Si Growth Condition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Gas Temperature and Surface Heating in a SiH4/H2 Plasma under a High-Rate μc-Si Growth Condition

著者

和文:	S. Nunomura, H. Akatsuka, M. Kondo.
英文:	S. Nunomura, H. Akatsuka, M. Kondo.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Europhysics Conference Abstracts

巻, 号, ページ

Vol. 30G pp. 359-360

出版年月

2006年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases (ESACAMPIG18)

開催地

和文:
英文:	Lecce, Italy