チタンのプラズマ酸化に対するプラズマパラメータの影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	チタンのプラズマ酸化に対するプラズマパラメータの影響
英文:	Effects of Plasma Parameters on Plasma Oxidation Rate of Titanium

著者

和文:	柿坂了, 坂本武士, 松浦治明, 赤塚洋.
英文:	S. Kakizaka, T. Sakamoto, H. Matsuura, H. Akatsuka.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	平成１８年　電気学会　基礎・材料・共通部門大会　講演予稿集CD-ROM
英文:	Abstracts of 2006 Annual Conference of Fundamentals sand Materials Society, IEE Japan

巻, 号, ページ

pp. 216

出版年月

2006年8月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	平成１８年　電気学会　基礎・材料・共通部門大会
英文:

開催地

和文:	熊本大学
英文: