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論文・著書情報


タイトル
和文:MEMS技術を用いたECFマイクロモータの開発 
英文: 
著者
和文: 金 俊完, 西田吉人, 横田眞一, 吉田和弘, 枝村一弥.  
英文: 金 俊完, 西田吉人, 横田眞一, KAZUHIRO YOSHIDA, 枝村一弥.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:日本機械学会2006年度年次大会講演論文集 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 7        pp. 337-338
出版年月 2006年9月 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:日本機械学会2006年度年次大会 
英文: 
開催地
和文:熊本 
英文: 

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