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論文・著書情報


タイトル
和文: 
英文:Thermal Oxidation of Silicon Substrates through Oxygen Diffusion 
著者
和文: 須佐 匡裕, K Nagata.  
英文: M Susa, K Nagata.  
言語 English 
掲載誌/書名
和文: 
英文:Materials Science and Engineering 
巻, 号, ページ Vol. A146    No. 1-2    pp. 51
出版年月 1991年 
出版者
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会議名称
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開催地
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英文: 

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