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論文・著書情報


タイトル
和文:イオンビーム照射によるダイヤモンド膜の平滑化 
英文:Smoothing of Diamond Films by Ion Beam Irradiation 
著者
和文: 平田　敦, 戸倉　和, 吉川昌範.  
英文: 平田　敦, 戸倉　和, 吉川昌範.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:精密工学会誌 
英文:Journal of the Japan Society for Precision Engineering 
巻, 号, ページ Vol. 58    No. 2    pp. 289-295
出版年月 1992年 
出版者
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会議名称
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開催地
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