生成ダイヤモンド膜に及ぼすアーク放電プラズマジェットCVD装置の電極位置の影響

論文・著書情報

タイトル

和文:	生成ダイヤモンド膜に及ぼすアーク放電プラズマジェットCVD装置の電極位置の影響
英文:	Effects of Electrodes Arrangement of Arc Discharge Plasma Jet CVD Apparatus on Diamond Films

著者

和文:	平田　敦, 内田孝宏, 吉川昌範.
英文:	平田　敦, 内田孝宏, 吉川昌範.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 60 No. 4 pp. 591-595

出版年月

1994年

出版者

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会議名称

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開催地

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