ペニングイオン源を用いたプラズマCVD装置の試作

論文・著書情報

タイトル

和文:	ペニングイオン源を用いたプラズマCVD装置の試作
英文:	Development of a Plasma CVD Apparatus Using Penning Ion Source

著者

和文:	平田　敦, 多々見俊宏, 柳瀬文典, 吉川昌範.
英文:	平田　敦, 多々見俊宏, 柳瀬文典, 吉川昌範.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 61 No. 5 pp. 687-691

出版年月

1995年

出版者

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会議名称

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開催地

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