磁場援用アーク放電プラズマジェットCVD法によるダイヤモンド合成

論文・著書情報

タイトル

和文:	磁場援用アーク放電プラズマジェットCVD法によるダイヤモンド合成
英文:	Diamond Synthesis by Magnetic Field Assisted Arc Discharge Plasma Jet CVD

著者

和文:	平田　敦, 津守秀彦, 星野浩之, 吉川昌範.
英文:	平田　敦, 津守秀彦, 星野浩之, 吉川昌範.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	精密工学会誌
英文:	Journal of the Japan Society for Precision Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 62 No. 4 pp. 544-548

出版年月

1996年

出版者

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会議名称

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開催地

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